【単行本】 松波弘之 / 半導体SiC技術と応用 送料無料

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商品の詳細

ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: 日刊工業新聞社
発売日: 2011年09月28日
ISBN: 9784526067549
発売国: 日本
その他: 533p 21cm(A5)
SKU: 4199276

内容詳細

目次 : 1 シリコンカーバイド(SiC)技術の進展/ 2 SiCの特徴/ 3 SiC単結晶の結晶成長技術/ 4 SiC単結晶のウェハ加工技術/ 5 SiCエピタキシャル成長技術/ 6 SiCの評価技術/ 7 SiCのプロセス技術/ 8 デバイス/ 9 SiCを用いたシステム/ 10 各分野におけるSiCへの期待


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